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 　　第四代臺式掃描電鏡是一款使用高亮度CeB6燈絲的高分辨臺式掃描電鏡。放大倍數(shù)130,000倍，用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。PhenomPro后期可升級為同時具備顯微圖像和元素成分分析的電鏡能譜一體機PhenomProX。PhenomPro可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。基于高亮度CeB6燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)，PhenomPro的分辨率輕松達到14nm，同時具有全自動操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點。