飛納臺(tái)式掃描電鏡主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個(gè)密封的柱形容器，真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空，有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足真空要求。 成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中，真空柱底端即為右圖所示的密封室，用于放置樣品。之所以要用真空，主要基于以下兩點(diǎn)原因：電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時(shí)需要用真空以外，平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。
不僅可在真空下，還可在大氣壓下進(jìn)行觀察，含水樣品也無需前處理即可直接觀察，是目前市面上一款大氣壓模式下觀測(cè)的掃描電鏡，免去了了生物，食品，化妝品等樣品復(fù)雜的前處理過程，同時(shí)還能觀察樣品的原始形貌。臺(tái)式掃描電鏡在成分分析方面主要有EDS能譜丶WDS波譜兩種偵測(cè)器可以搭配，能譜分析速度較快，元素檢測(cè)極限約1000~2000ppm。
波譜分析速度較慢，但元素偵測(cè)極限較好，約在10~100ppm，成分分析分析方法上面有三種模式可以選擇，奈米范圍內(nèi)微小區(qū)域成分分析，可以幫助使用者做特定區(qū)域的分析，可以觀察掃描線段區(qū)域的成分變化。飛納臺(tái)式掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，分辨率超過0.8nm，為您提供高分辨率和分析性能科研平臺(tái)。
臺(tái)式掃描電鏡直觀便捷的四步工作流程可以快速成像、簡(jiǎn)化分析程序、提高工作效率。您會(huì)比以往更快、更多的獲取數(shù)據(jù)。多種探測(cè)器的選擇使Sigma500可以精準(zhǔn)的匹配您的應(yīng)用程序：您可以獲取微小粒子、表面、納米結(jié)構(gòu)、薄膜、涂層和多層的圖像信息。掃描電鏡有較高的放大倍數(shù)，幾萬~幾十萬倍之間連續(xù)可調(diào)；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡(jiǎn)單。
目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。掃描電鏡由真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品室和樣品臺(tái)、電子探測(cè)器、背散射電子探頭、真空泵、自動(dòng)穩(wěn)壓器、工具、計(jì)算機(jī)、操作軟件及附件組成，主要用于材料科學(xué)、化學(xué)化工、生命科學(xué)以及相關(guān)領(lǐng)域的研究工作，對(duì)各種掃描電鏡工產(chǎn)品、生物制品、非金屬礦及深加工產(chǎn)品等進(jìn)行觀測(cè)。
