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什么是荷電效應(yīng)？

掃描電子顯微鏡主要用于樣品表面微觀形貌觀察，但在觀察樣品過程中經(jīng)常由于荷電效應(yīng)使得圖像異常變亮、畸變，甚至出現(xiàn)圖像模糊的情況，嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。

圖1固體絕緣材料的電子發(fā)射特性曲線。橫坐標(biāo)為入射電子能量，縱坐標(biāo)為試樣的電子產(chǎn)率。荷電現(xiàn)象可以用基爾霍夫電流定律表示，即在任一瞬時(shí)流向某一結(jié)點(diǎn)的電流之和等于由節(jié)點(diǎn)流出的電流之和。可用以下公式表達(dá)：

其中 I_p 是入射電子的電流，δI_b 是背散射電子和二次電子的電流之和，I_sc 是樣品接地電流，Q 為時(shí)間 t 內(nèi)的放電電荷。